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化学法去污导致交污染的可能性高，尤其是为了限制二次废物产生量时，或采用循环去污时，交*污染的可能性更大。实施化学法表面去污时，由于要使用各种不同的化学试剂和相应的专用设备及动力，因此，需要相当的运行费用支持，然而，这种运行费通常是可以接受的。但是，由于化学法表面去污会产生大量的二次废液，它们的处理、整备、暂存和处置费用相对去污本身而言，可能要高出许多。化学法初步去污后，一般来说，金属物件达不到清洁解控水平或限制性利用控制水平，当金属设备解体后，实施深度化学去污，可能会使大部分金属的残留污染水平低于清洁解控水平或限制性利用控制水平。但是，由于缝隙的存在或深度污染，还会有相当部分废金属不得不按放射性废物进行处理。正由于化学深度去污法存在这些缺点，往往限制了化学法去污技术的应用。